C/C熱場(chǎng)材料與石墨熱場(chǎng)材料性能對(duì)比
C/C復(fù)合材料具有質(zhì)量輕、損傷容限高、強(qiáng)度高等突出特點(diǎn),用作熱場(chǎng)與石墨產(chǎn)品比較,具有以下突出優(yōu)點(diǎn):
(1)C/C復(fù)合材料用作單晶硅爐熱場(chǎng)產(chǎn)品,大幅度延長(zhǎng)產(chǎn)品使用壽命減少更換部件的次數(shù),從而提高設(shè)備的利用率,減少維修成本。
?。?)用作拉單晶磚的坩堝時(shí),由于石英坩堝對(duì)石墨坩堝產(chǎn)生較大的膨脹應(yīng)力作用,石墨坩堝只好做成多瓣,或在坩堝上開(kāi)熱膨脹槽.而使用C/C復(fù)合材料熱場(chǎng)產(chǎn)品由于不用開(kāi)熱膨脹槽,可以做成一個(gè)整體,可以在石英坩堝內(nèi)獲得更均勻的熱場(chǎng),可以提高成品率,而且可以避免“漏硅”事故造成的損失,據(jù)統(tǒng)計(jì)一次“漏硅”事故造成的設(shè)備、材料方面的損失超過(guò)10萬(wàn)元。
(3)C/C復(fù)合材料用作單晶硅爐熱場(chǎng)產(chǎn)品時(shí),現(xiàn)有設(shè)備具有固定的,而由于C/C復(fù)臺(tái)材料具有優(yōu)異的性能,與石墨產(chǎn)品相比,可以做得更薄,從而可以利用現(xiàn)有設(shè)備生產(chǎn)尺寸更長(zhǎng)、更大直徑的產(chǎn)品,可節(jié)約大量新設(shè)備投資費(fèi)用。
(4)在拉制大直徑的產(chǎn)品時(shí),石墨熱場(chǎng)產(chǎn)品成型困難,如果要制造超大大直徑的石墨熱場(chǎng)零部件其制造成本加工成本都很高,而由于C/C復(fù)合材料具有優(yōu)異的性能,目前國(guó)外拉制大直徑的產(chǎn)品時(shí),較多地采用了C/C復(fù)合材料熱場(chǎng)產(chǎn)品。
?。?)石墨熱場(chǎng)產(chǎn)品在反復(fù)高溫?zé)嵴饤l件下易產(chǎn)生裂紋,微裂紋的存在改變了其熱傳導(dǎo)性能,使加熱時(shí)石墨加熱器的功率與硅熔體的溫度場(chǎng)發(fā)生變化,將影響拉晶的效率和拉出的晶體的質(zhì)量和品質(zhì)。而使用C/C復(fù)合材料熱場(chǎng)產(chǎn)品可以克服這個(gè)缺點(diǎn)。
?。?)C/C復(fù)合材料用作單晶硅爐熱場(chǎng)產(chǎn)品時(shí),導(dǎo)熱系數(shù)比石墨熱場(chǎng)產(chǎn)品低很多,用做隔熱保溫材料隔熱保溫好,可以節(jié)約大量的電能,節(jié)省大量的電費(fèi)開(kāi)支,可有效的降低單晶硅生產(chǎn)廠家的生產(chǎn)成本,隨著全球能源供應(yīng)的緊張,單晶硅生產(chǎn)作為高耗能行業(yè),能源消耗的降低具有較大的經(jīng)濟(jì)和社會(huì)意義。
單晶硅拉制爐用熱場(chǎng)材料的研究和應(yīng)用經(jīng)歷了石墨材料和C/C復(fù)合材料的發(fā)展歷程。由于石墨材料的局限性,特別是抗熱振性,針對(duì)大型熱場(chǎng)零件,石墨材料已無(wú)法滿足加工條件,作為高溫工業(yè)設(shè)備熱場(chǎng)材料,碳/碳復(fù)合材料無(wú)疑是替代石墨的佳新材料。從減少部件的更換率和提高設(shè)備生產(chǎn)能力和穩(wěn)定性,提高生產(chǎn)的單晶硅質(zhì)量和品質(zhì),降低能源消耗來(lái)講,C/C復(fù)合材料無(wú)論從性能還是從價(jià)格上,取代現(xiàn)有的材料,成為制造大型單晶爐的首選材料是完全可能的,且前景將難以估計(jì)的。