單晶爐熱場結(jié)構(gòu)原來是這樣的
在太陽能光伏行業(yè),單晶爐熱場的好壞直接關(guān)系到單晶硅的質(zhì)量,合格的熱場能夠生長出高質(zhì)量的單晶,因此創(chuàng)造良好的熱場條件,在直拉單晶工藝上有非常重要的因素。石墨是單晶生長的載體,石墨在直拉單晶生長爐中以高純石墨和等靜壓石墨加工件為主。
加熱器是熱場中很重要的部件,是直接發(fā)熱體,溫度高的時(shí)候可以達(dá)到1600度以上。常見的加熱器有三種形狀,筒狀、杯狀、螺旋狀。就
石墨坩堝、石墨托桿、石墨托盤
坩堝托桿、坩堝和托盤共同構(gòu)成了石墨坩堝的支撐體,要求和下軸結(jié)合牢固,對中性良好在下軸進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),托桿及托盤的擺渡小于等于0.5mm石墨支撐體的高度是可以調(diào)節(jié)的。
保溫蓋、導(dǎo)流筒
保溫蓋有保溫上蓋、保溫碳?xì)趾捅叵律w組成,即兩層環(huán)狀石墨之間夾一層石墨碳?xì)纸M成。導(dǎo)流筒主要是未來控制熱場的溫度梯度和引導(dǎo)氬氣流。
壓環(huán)
石墨壓環(huán)由幾截弧形構(gòu)成的圓形環(huán)狀石墨件,放置在蓋板與爐壁接觸處,是為了防止熱量和氣體從壁爐與蓋板的縫隙間的通過。